Review

Ceramist 2005;8(5):79-86.
Published online October 31, 2005.

고속 실리콘 박막 증착 기술 동향

홍완식

세종대학교 전자공학과

TOOLS

METRICS

Related articles in Ceramist

Editorial Office: Meorijae Bldg., Suite # 403, 76, Bangbae-ro, Seocho-gu, Seoul 06704, Korea
Tel: +82-2-584-0185 Fax: +82-2-586-4582 E-mail: ceramic@kcers.or.kr