TEM Study on the Structural and Electrical Features of Grain Boundaries in Semiconducting Oxides |
Seon-Min Mun1, Nam-Hui Jo, Myeong-Beom Park3 |
1Department of Materials Science and Engineering, Inha University 2 3Semiconductor Business, Samsung Electronics |
TEM을 이용한 산화물 반도체 입계의 구조 및 전기적 특성 평가 |
문선민1, 조남희, 박명범3 |
1인하대학교 대학원 2인하대학교 공과대학 3삼성전자 반도체총괄 메모리사업부 |
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